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	电阻热蒸发镀膜与电子束蒸发镀膜对纳米球刻蚀方法制备二维银纳米阵列结构的影响; Effects of thermal evaporation and electron beam evaporation on two-dimensional patterned Ag nanostructure during nanosphere lithography
	罗银燕 ; 朱贤方
	2011
关键词	银纳米阵列 电阻热蒸发 电子束蒸发 纳米球刻蚀 Ag nano-arrays thermal evaporation electron beam evaporation nanosphere lithography
英文摘要	在使用纳米球刻蚀法制备二维银纳米点阵的过程中,使用不同的镀膜方法在同样的模板上得到了不同形貌的银纳米阵列结构.使用电阻热蒸发镀膜方法获得了六角排列的银纳米三角形阵列结构,使用电子束蒸发镀膜方法则获得了六角排列的银纳米环阵列结构.研究表明,沉积纳米粒子的粒径、表面纳米曲率效应和热能是形成不同结构形貌的纳米阵列结构的关键因素.; In the process of fabricating two-dimensional Ag nano-arrays via nanosphere lithography,different deposition methods present different lattice point shapes of Ag nanostructure.Nano-triangles are produced by thermal evaporation whereas nano-rings are obtained by electron beam evaporation although they are both of hexagonal lattice.It is indicated that the sizes,the surface nanocurvature,the thermal and the kinetic energies of the particles deposited are key factors controlling the formation of the shape of Ag lattice point.; 科学技术部国际科技合作计划(批准号:2008DFA51230);国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB936603);国家自然科学基金(批准号:60776007;11074207)资助的课题----
语种	zh_CN
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/121382]
专题	物理技术－已发表论文
推荐引用方式 GB/T 7714	罗银燕,朱贤方. 电阻热蒸发镀膜与电子束蒸发镀膜对纳米球刻蚀方法制备二维银纳米阵列结构的影响, Effects of thermal evaporation and electron beam evaporation on two-dimensional patterned Ag nanostructure during nanosphere lithography[J],2011.
APA	罗银燕,&朱贤方.(2011).电阻热蒸发镀膜与电子束蒸发镀膜对纳米球刻蚀方法制备二维银纳米阵列结构的影响..
MLA	罗银燕,et al."电阻热蒸发镀膜与电子束蒸发镀膜对纳米球刻蚀方法制备二维银纳米阵列结构的影响".(2011).

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