| MEMS光开关的静电驱动技术; A Technology on Electrostatic Actuators of MEMS Optical Switch | |
| 林静 ; 黄元庆 | |
| 2005 | |
| 关键词 | MEMS光开关 静电驱动 悬臂梁驱动 扭臂驱动 梳状驱动 SDA MEMS optical switches Electrostatic-actuators Cantilever actuator Torsion beam actuator Comb drive actuator |
| 英文摘要 | 【中文文摘】本文主要介绍MEMS光开关4种静电驱动的不同结构,及其各自在光开关性能上的优势与不足,这对MEMS光开关的设计研究具有参考价值。 【英文文摘】This paper shows the structures of the four electrostatic actuators of MEMS optical switches, and in-troducestheir advantages,disadvantages,and their application. It will help researcheson optical switch to some extent. |
| 语种 | 中文 |
| 出版者 | 《中国仪器仪表》编辑部 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/7775]  |
| 专题 | 物理技术－已发表论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林静,黄元庆. MEMS光开关的静电驱动技术, A Technology on Electrostatic Actuators of MEMS Optical Switch[J],2005. |
| APA | 林静,&黄元庆.(2005).MEMS光开关的静电驱动技术.. |
| MLA | 林静,et al."MEMS光开关的静电驱动技术".(2005). |
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