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	超声波微加工间隙在线测控技术研究; On-line Measurement and Control of Clearance in Supersonic Micromachining
	仲进安 ; 郭隐彪 ; 张翊
	2002-06
关键词	超声波 微加工 谐振 在线测量与控制 Supersonic Micro machining Resonance On line measurement and control
英文摘要	【中文摘要】 硬脆材料和电难以加工材料如玻璃、陶瓷、人造宝石、半导体基板的微型孔、槽及微结构 ,通常采用超声波通过工具振动和工作液中磨粒的作用达到微加工的目的。为了保证加工精度和提高加工效率 ,工具和工件之间应保持一定的间隙。控制间隙的大小和精度直接影响加工质量。本文提出超声波谐振来测量工具与工件之间的间隙 ,实现加工过程的在线控制技术 【英文摘要】 Micro holes,micro slot and micro structure of rigid materials such as glass,ceramics,synthetic cut stone,semiconductor wafers which have difficult in being processed through electrical machining are usually processed with supersonic micro machining To make supersonic quivery among tool and abrasives that are suspended in work liquid,abrasives process workpiece in supersonic machining In order to get high accuracy and high efficiency,it becomes the key technology that measure and control the distance...; 厦门大学校自选课题 Y07007资助项目
语种	中文
出版者	《仪器仪表学报》编辑部
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/7671]
专题	物理技术－已发表论文
推荐引用方式 GB/T 7714	仲进安,郭隐彪,张翊. 超声波微加工间隙在线测控技术研究, On-line Measurement and Control of Clearance in Supersonic Micromachining[J],2002.
APA	仲进安,郭隐彪,&张翊.(2002).超声波微加工间隙在线测控技术研究..
MLA	仲进安,et al."超声波微加工间隙在线测控技术研究".(2002).

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