喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计

CORC > 集美大学

	喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计
	李晖
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=jmxz201103012&dbcode=CJFQ&dbname=CJFQ2011
	2012-06-05 ; 2012-06-05
关键词	喷淋式MOCVD反应器传质数理分析结构设计 showerhead MOCVD reactor mass transport mathematical analysis structure design TK121
其他题名	Mass Transport Analysis and Structure Design of Showerhead MOCVD Reactor
中文摘要	对喷淋式MOCVD反应器中的传质过程进行了数理分析,并提出了该类型反应器的结构设计原则.数理分析显示,基片上方各点的轴向速度仅是垂直距离的函数,与径向距离无关;顶壁高度对反应室内的传质有重要影响.设计喷淋式反应器结构时,应重点考虑顶壁高度和反应室半径的选取、基片加热方式以及喷淋头结构的柔性设计.; The mass transport process in showerhead MOCVD reactor was mathematically analyzed,and the design principles of the reactor were suggested.The mathematical analysis showed that,the vertical component velocity of a point over the substrate was only dependent of vertical distance and independent of radial distance.The ceiling height of the reactor had important effects on the mass transport process.When designing a MOCVD showerhead reactor,more attention should be paid to ceiling height,chamber radius,heating method of the substrate and flexibility of showerhead structure.; 【作者单位】集美大学机械工程学院；江苏大学能源与动力工程学院；【作者英文名】LI Hui1,2(1.School of Mechanical Engineering,Jimei University,Xiamen 361021,China;2.School of Energy and Power Engineering,Jiangsu University,Zhenjiang 212013,China)
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/235041/14484]
专题	集美大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李晖. 喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=jmxz201103012&dbcode=CJFQ&dbname=CJFQ2011,2012, 2012.
APA	李晖.(2012).喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=jmxz201103012&dbcode=CJFQ&dbname=CJFQ2011.
MLA	李晖."喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=jmxz201103012&dbcode=CJFQ&dbname=CJFQ2011 (2012).