脉冲激光沉积GaN薄膜的结构和光学特性研究

CORC > 上海交通大学

	脉冲激光沉积GaN薄膜的结构和光学特性研究
	童杏林 ; 郑启光 ; 于本海 ; 秦应雄 ; 席再军 ; 路庆华
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GZXB200312024&dbname=CJFQ2003
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	GaN薄膜脉冲激光沉积直流放电辅助结构光致发光光谱
中文摘要	采用准分子脉冲激光 ,在Si(111)衬底上生长了带有AlN缓冲层的GaN薄膜 ,利用X射线衍射 (XRD)、原子力显微镜 (AFM )和光致发光光谱 (PL)等测试手段研究了不同沉积温度所生长的GaN薄膜结构特征和光学性能 .研究表明 :沉积温度影响GaN薄膜结构和光学性能 ,黄带发射峰主要与晶体缺陷有关在 4 0 0～ 70 0℃沉积范围内随着温度升高 ,GaN薄膜结构和光学性能提高
语种	中文
其他责任者	华中科技大学激光技术国家重点实验室 ; 上海交通大学分析测试中心武汉430074 ; 武汉430074 ; 上海200030
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/231030/1708]
专题	上海交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	童杏林,郑启光,于本海,等. 脉冲激光沉积GaN薄膜的结构和光学特性研究[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GZXB200312024&dbname=CJFQ2003,2012, 2012.
APA	童杏林,郑启光,于本海,秦应雄,席再军,&路庆华.(2012).脉冲激光沉积GaN薄膜的结构和光学特性研究.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GZXB200312024&dbname=CJFQ2003.
MLA	童杏林,et al."脉冲激光沉积GaN薄膜的结构和光学特性研究".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GZXB200312024&dbname=CJFQ2003 (2012).