氮离子束能量对光伏新材料氮化碳薄膜的影响

CORC > 上海交通大学

	氮离子束能量对光伏新材料氮化碳薄膜的影响
	姜维 ; 周之斌 ; 崔容强 ; 罗培青 ; 刘志刚 ; 窦晓鸣
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=DYJS200611016&dbname=CJFQ2006
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	氮化碳离子束溅射拉曼 TEM EDS 开路电压
中文摘要	将碳基材料应用于太阳电池半导体器件的研究已经在国内外得到重视和开展。采用离子束溅射反应沉积技术,在p型绒面硅和p型硅基片上沉积出用于制备太阳电池的氮化碳薄膜(a-C:N)。ID/IG比率,ISi/IG比率是研究氮化碳薄膜微结构的重要拉曼参数,对这些参数随氮离子束能量的变化进行了研究。能量散射光谱(EDS)和透射电子显微镜(TEM)测试显示随氮离子束能量增大,薄膜中氮原子含量下降,团簇尺寸大幅下降,非晶网络中团簇分布也趋于均匀。用真空热蒸镀工艺在氮化碳/硅异质结的氮化碳薄膜表面镀上一层半透明的铝薄膜,测得AM1.5标准光照下的开路电压随氮离子束能量的增加而增大。
语种	中文
其他责任者	上海交通大学物理系太阳能研究所 ; 上海交通大学物理系太阳能研究所上海200240 ; 上海200240
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.calis.edu.cn/hdl/231030/978]
专题	上海交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	姜维,周之斌,崔容强,等. 氮离子束能量对光伏新材料氮化碳薄膜的影响[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=DYJS200611016&dbname=CJFQ2006,2012, 2012.
APA	姜维,周之斌,崔容强,罗培青,刘志刚,&窦晓鸣.(2012).氮离子束能量对光伏新材料氮化碳薄膜的影响.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=DYJS200611016&dbname=CJFQ2006.
MLA	姜维,et al."氮离子束能量对光伏新材料氮化碳薄膜的影响".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=DYJS200611016&dbname=CJFQ2006 (2012).