基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法

CORC > 西北工业大学

	基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法
	吕湘连 ; 苑伟政 ; 何洋 ; 霍鹏飞
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZGJX200514014&dbname=CJFQ2005
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	异构宏模型系统级建模微机电系统仿真
中文摘要	针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器件的参数化宏模型,在此基础上实现MEMS系统级仿真。以z轴加速度计为例,在Saber中进行其系统级的时域、频域仿真,将仿真结果与有限元分析进行了比较,其仿真时间小于3min,相对误差小于3%,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级仿真。
语种	中文
出版者	中国机械工程
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1711]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	吕湘连,苑伟政,何洋,等. 基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZGJX200514014&dbname=CJFQ2005,2012, 2012.
APA	吕湘连,苑伟政,何洋,&霍鹏飞.(2012).基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZGJX200514014&dbname=CJFQ2005.
MLA	吕湘连,et al."基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZGJX200514014&dbname=CJFQ2005 (2012).