基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真

CORC > 西北工业大学

	基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真
	霍鹏飞 ; 马炳和 ; 苑伟政
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKXB200305019&dbname=CJFQ2003
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	传感器技术系统级设计多端口组件网络微加速度计建模与仿真
中文摘要	提出多端口组件网络方法对MEMS进行建模与仿真,建立了惯导MEMS典型功能结构部件的参数化多端口组件模型,联结组件模型形成网络构建了蟹腿式微加速度计的系统模型。用硬件描述语言作为编码工具,Saber作为平台对该微加速度计模型进行了仿真分析。研究表明,采用多端口组件网络可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。与有限元分析相比较,微加速度计系统模型仿真得到的检测方向的固有频率误差小于1 0%;仿真结果表明梁的宽度变化对系统灵敏度有较大影响,故需要尽量减小梁宽的加工误差。借助该模型还研究了系统对正弦及脉冲输入信号的响应特性。
语种	中文
出版者	航空学报
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1702]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	霍鹏飞,马炳和,苑伟政. 基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKXB200305019&dbname=CJFQ2003,2012, 2012.
APA	霍鹏飞,马炳和,&苑伟政.(2012).基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKXB200305019&dbname=CJFQ2003.
MLA	霍鹏飞,et al."基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKXB200305019&dbname=CJFQ2003 (2012).