基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真 | |
霍鹏飞 ; 马炳和 ; 苑伟政 | |
刊名 | http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKXB200305019&dbname=CJFQ2003
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2012-04-24 ; 2012-04-24 | |
关键词 | 传感器技术 系统级设计 多端口组件网络 微加速度计 建模与仿真 |
中文摘要 | 提出多端口组件网络方法对MEMS进行建模与仿真,建立了惯导MEMS典型功能结构部件的参数化多端口组件模型,联结组件模型形成网络构建了蟹腿式微加速度计的系统模型。用硬件描述语言作为编码工具,Saber作为平台对该微加速度计模型进行了仿真分析。研究表明,采用多端口组件网络可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。与有限元分析相比较,微加速度计系统模型仿真得到的检测方向的固有频率误差小于1 0%;仿真结果表明梁的宽度变化对系统灵敏度有较大影响,故需要尽量减小梁宽的加工误差。借助该模型还研究了系统对正弦及脉冲输入信号的响应特性。 |
语种 | 中文 |
出版者 | 航空学报 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1702] ![]() |
专题 | 西北工业大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 霍鹏飞,马炳和,苑伟政. 基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKXB200305019&dbname=CJFQ2003,2012, 2012. |
APA | 霍鹏飞,马炳和,&苑伟政.(2012).基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKXB200305019&dbname=CJFQ2003. |
MLA | 霍鹏飞,et al."基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKXB200305019&dbname=CJFQ2003 (2012). |
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