基于异构宏模型的Z轴微加速度计系统级建模与快速仿真

CORC > 西北工业大学

	基于异构宏模型的Z轴微加速度计系统级建模与快速仿真
	徐景辉 ; 苑伟政 ; 吕湘连 ; 常洪龙
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200804011&dbname=CJFQ2008
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	微机电系统宏模型降阶模型 Krylov子空间 Arnoldi算法
中文摘要	针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将MEMS系统分解为多个简单部件和复杂部件的组合,采用解析法建立简单部件的宏模型,而采用数值法建立复杂部件的宏模型,通过这些宏模型按器件的原始拓扑互连实现整个MEMS的系统级建模与仿真。以z轴微加速度计为例,对其中形状规则的平板质量块和平板电容器,采用解析法建立宏模型;而对于形状复杂的折叠梁,采用数值法建立宏模型,完成z轴微加速度计的系统级建模,并在Saber中进行系统级的时域、频域及pull-in仿真。将仿真结果与有限元分析结果及实验结果进行了比较,其时域仿真时间小于2 min,频率、pull-in电压相对误差小于2%,表明该方法能够快速有效地实现复杂结构MEMS器件的系统级建模与仿真。
语种	中文
出版者	西北工业大学学报
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1699]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	徐景辉,苑伟政,吕湘连,等. 基于异构宏模型的Z轴微加速度计系统级建模与快速仿真[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200804011&dbname=CJFQ2008,2012, 2012.
APA	徐景辉,苑伟政,吕湘连,&常洪龙.(2012).基于异构宏模型的Z轴微加速度计系统级建模与快速仿真.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200804011&dbname=CJFQ2008.
MLA	徐景辉,et al."基于异构宏模型的Z轴微加速度计系统级建模与快速仿真".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200804011&dbname=CJFQ2008 (2012).