MEMS微型可编程光栅的研究现状(下) | |
虞益挺 ; 苑伟政 | |
刊名 | http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YQXB200806044&dbname=CJFQ2008 |
2012-04-24 ; 2012-04-24 | |
关键词 | 衍射光栅 微机电系统 微光机电系统 微型可编程光栅 |
中文摘要 | 近十几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文将在前文的基础上,重点介绍国际上其他的科研机构在MEMS微型可编程光栅相关方面的研究情况,对于每一种光栅结构的特点、制作工艺及其面向的应用领域进行了详细说明,最后讨论了MEMS微型可编程光栅的发展趋势。 |
语种 | 中文 |
出版者 | 仪器仪表学报 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1696] |
专题 | 西北工业大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 虞益挺,苑伟政. MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YQXB200806044&dbname=CJFQ2008,2012, 2012. |
APA | 虞益挺,&苑伟政.(2012).MEMS微型可编程光栅的研究现状(下).http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YQXB200806044&dbname=CJFQ2008. |
MLA | 虞益挺,et al."MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YQXB200806044&dbname=CJFQ2008 (2012). |
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