MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)

CORC > 西北工业大学

	MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)
	虞益挺 ; 苑伟政
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YQXB200805045&dbname=CJFQ2008
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	衍射光栅微机电系统微光机电系统微型可编程光栅
中文摘要	近10几年来,微机电系统——MEMS技术作为一种使能技术,在各个领域(如机械、生物、光学、射频、能源等)得到了迅速发展,并实现了一定的产业化应用,取得了良好的经济效益。光学MEMS使光学元器件具备了体积小、重量轻、性能稳定、成本及功耗低等显著优点,实现了器件中关键结构的动态可控性,这是传统技术所无法比拟的。本文以MEMS微型可编程光栅为核心,介绍了它的特点及其优异性能,并重点阐述了国外已经实现商品化应用的3种MEMS微型可编程光栅的工作原理、结构特点及其典型应用。
语种	中文
出版者	仪器仪表学报
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1692]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	虞益挺,苑伟政. MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YQXB200805045&dbname=CJFQ2008,2012, 2012.
APA	虞益挺,&苑伟政.(2012).MEMS微型可编程光栅的研究现状(上).http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YQXB200805045&dbname=CJFQ2008.
MLA	虞益挺,et al."MEMS微型可编程光栅的研究现状(上)".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YQXB200805045&dbname=CJFQ2008 (2012).