RF MEMS开关

CORC > 西北工业大学

	RF MEMS开关
	乔大勇 ; 苑伟政
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200205005&dbname=CJFQ2002
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	射频微机械开关工艺设计因素
中文摘要	由于能耗低、隔离度好、工作频带宽,MEMS开关在RF领域得到了广泛的应用。本文着重介绍了RF MEMS开关的基本参数、分类以及典型制造工艺和设计时考虑因素等一些基本的概念。
语种	中文
出版者	微纳电子技术
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/1581]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	乔大勇,苑伟政. RF MEMS开关[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200205005&dbname=CJFQ2002,2012, 2012.
APA	乔大勇,&苑伟政.(2012).RF MEMS开关.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200205005&dbname=CJFQ2002.
MLA	乔大勇,et al."RF MEMS开关".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200205005&dbname=CJFQ2002 (2012).