金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析

CORC > 西北工业大学

	金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析
	杨文彬 ; 张立同 ; 成来飞 ; 华云峰 ; 张钧
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=COSE200603035&dbname=CJFQ2006
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	铱涂层金属有机物化学气相沉积升华温度显微组织
中文摘要	采用金属有机物化学气相沉积法,在不通入活性气体的条件下,研究了三乙酰丙酮铱先驱体挥发温度对铱涂层显微结构的影响。在500℃的金属铌和陶瓷石英基片上制备出亮银白色的多晶相铱涂层。分析表明:铌和石英基片上沉积的铱涂层均由两层不同结构的薄膜构成,220℃挥发先驱体沉积出由纳米级颗粒疏松堆积构成的涂层,185℃挥发先驱体沉积出致密的涂层。铱涂层表面光滑均匀,无明显缺陷。
语种	中文
出版者	稀有金属材料与工程
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/734]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杨文彬,张立同,成来飞,等. 金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=COSE200603035&dbname=CJFQ2006,2012, 2012.
APA	杨文彬,张立同,成来飞,华云峰,&张钧.(2012).金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=COSE200603035&dbname=CJFQ2006.
MLA	杨文彬,et al."金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=COSE200603035&dbname=CJFQ2006 (2012).