优化设计CVI反应器结构的流体可视化研究

CORC > 西北工业大学

	优化设计CVI反应器结构的流体可视化研究
	肖鹏 ; 徐永东 ; 张立同 ; 成来飞
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200101031&dbname=CJFQ2001
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	CVI反应器优化设计气体流动可视化
中文摘要	CVI反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响。本文在研制了一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备的基础上 ,通过流场模拟研究 ,得到的结果是 :1在底部进气方式中 ,采用涡流器与多孔整流器 ,能消除中心射流与减小上部回流区域 ,扩大反应器的有效使用空间 ;使衬底与气体主流方向成一定的夹角 ,能有效阻止气体边界层的分离。 2在侧向进气方式中 ,气体采用 30°喷嘴与衬底成 30°角喷入 ,能在圆柱形衬底面上形成较理想的边界层 ;增大衬底直径有利于消除反应器内的下部回流区。
语种	中文
出版者	西北工业大学学报
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/699]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	肖鹏,徐永东,张立同,等. 优化设计CVI反应器结构的流体可视化研究[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200101031&dbname=CJFQ2001,2012, 2012.
APA	肖鹏,徐永东,张立同,&成来飞.(2012).优化设计CVI反应器结构的流体可视化研究.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200101031&dbname=CJFQ2001.
MLA	肖鹏,et al."优化设计CVI反应器结构的流体可视化研究".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=XBGD200101031&dbname=CJFQ2001 (2012).