工艺参数对化学气相沉积ZrC涂层形貌和组分的影响

CORC > 西北工业大学

	工艺参数对化学气相沉积ZrC涂层形貌和组分的影响
	刘巧沐 ; 张立同 ; 刘佳 ; 成来飞
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=FUHE201005012&dbname=CJFQ2010
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	化学气相沉积碳化锆涂层工艺参数形貌作用机制
中文摘要	利用ZrCl4-Ar-CH4-H2体系,采用化学气相沉积法(CVD)制备了ZrC涂层。研究了不同基底、沉积温度、先驱体中CH4与ZrCl4浓度比(C/Zr)对涂层形貌、物相和组分的影响规律和作用机制。结果表明,不同基底对该体系沉积的ZrC涂层形貌没有显著影响。沉积温度对ZrC涂层形貌影响较大,当温度从1100℃增加到1350℃时,涂层形貌由片状转变到荔枝状,且涂层中的C含量随温度的升高而增加。先驱体中的C/Zr比对涂层形貌和组分也有重要影响,当C/Zr比从8.5减小到3.5时,涂层由疏松多孔形貌经菜花状向玻璃态形貌演变,且涂层中的C含量随C/Zr比的减小而减少。
语种	中文
出版者	复合材料学报
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/654]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刘巧沐,张立同,刘佳,等. 工艺参数对化学气相沉积ZrC涂层形貌和组分的影响[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=FUHE201005012&dbname=CJFQ2010,2012, 2012.
APA	刘巧沐,张立同,刘佳,&成来飞.(2012).工艺参数对化学气相沉积ZrC涂层形貌和组分的影响.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=FUHE201005012&dbname=CJFQ2010.
MLA	刘巧沐,et al."工艺参数对化学气相沉积ZrC涂层形貌和组分的影响".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=FUHE201005012&dbname=CJFQ2010 (2012).