MOCVD法制备多层Ir涂层的显微结构

CORC > 西北工业大学

	MOCVD法制备多层Ir涂层的显微结构
	杨文彬 ; 张立同 ; 成来飞 ; 华云峰 ; 徐永东
刊名	http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GTHJ200601014&dbname=CJFQ2006
	2012-04-24 ; 2012-04-24
关键词	铱涂层金属有机物化学气相沉积多层结构
中文摘要	以三乙酰丙酮铱为先驱体,采用金属有机物化学气相沉积法,通过变温多次沉积在石英基片和热解碳层上制备出多层Ir涂层。XRD研究表明,Ir涂层呈多晶态。试样冲击断裂后,SEM观察横截面显示,涂层与基片以及涂层之间结合良好,无层间开裂发生。内层涂层虽然有孔隙缺陷,但经多次沉积,后继制备的涂层能很好地将其封填。
语种	中文
出版者	固体火箭技术
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/475]
专题	西北工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杨文彬,张立同,成来飞,等. MOCVD法制备多层Ir涂层的显微结构[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GTHJ200601014&dbname=CJFQ2006,2012, 2012.
APA	杨文彬,张立同,成来飞,华云峰,&徐永东.(2012).MOCVD法制备多层Ir涂层的显微结构.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GTHJ200601014&dbname=CJFQ2006.
MLA	杨文彬,et al."MOCVD法制备多层Ir涂层的显微结构".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GTHJ200601014&dbname=CJFQ2006 (2012).