金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析 | |
杨文彬 ; 张立同 ; 成来飞 ; 华云峰 ; 张钧 | |
刊名 | http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=COSE200603035&dbname=CJFQ2006
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2012-04-24 ; 2012-04-24 | |
关键词 | 铱涂层 金属有机物化学气相沉积 升华温度 显微组织 |
中文摘要 | 采用金属有机物化学气相沉积法,在不通入活性气体的条件下,研究了三乙酰丙酮铱先驱体挥发温度对铱涂层显微结构的影响。在500℃的金属铌和陶瓷石英基片上制备出亮银白色的多晶相铱涂层。分析表明:铌和石英基片上沉积的铱涂层均由两层不同结构的薄膜构成,220℃挥发先驱体沉积出由纳米级颗粒疏松堆积构成的涂层,185℃挥发先驱体沉积出致密的涂层。铱涂层表面光滑均匀,无明显缺陷。 |
语种 | 中文 |
出版者 | 稀有金属材料与工程 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ircloud.calis.edu.cn/hdl/261030/473] ![]() |
专题 | 西北工业大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨文彬,张立同,成来飞,等. 金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=COSE200603035&dbname=CJFQ2006,2012, 2012. |
APA | 杨文彬,张立同,成来飞,华云峰,&张钧.(2012).金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=COSE200603035&dbname=CJFQ2006. |
MLA | 杨文彬,et al."金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=COSE200603035&dbname=CJFQ2006 (2012). |
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