| 准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究 | |
| 陈涛 | |
| 2012-04-13 ; 2012-04-13 | |
| 关键词 | 生物芯片 准分子激光 蚀刻 微加工 |
| 中文摘要 | 用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以得到比较理想的高聚物基生物芯片。采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)进行微细加工,探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理。进行了表面微通道制作和打孔实验,研究激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律。结果表明,准分子激光蚀刻完全适合生物芯片的制作,而且加工过程简单,是一种行之有效的制作方法。 |
| 原文出处 | http://guest.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTQ200601008&dbname=CJFQ2006 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/17301]  |
| 专题 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈涛. 准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究[J],2012, 2012. |
| APA | 陈涛.(2012).准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究.. |
| MLA | 陈涛."准分子激光加工PMMA生物芯片片基的实验研究".(2012). |
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