| 高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究 | |
| 陈继民 | |
| 2012-04-13 ; 2012-04-13 | |
| 关键词 | 紫外激光 微加工 掩膜 激光切割 |
| 中文摘要 | 通过改变气氛条件及加工工艺参数,研究高功率紫外激光切割铜薄膜的切割性能及影响因素,并且利用正交实验设计的方法,确定了影响切缝宽度和切割质量的主次因素。在实验的基础上,成功的利用高功率三倍频紫外激光制作出高质量的铜质薄膜器件。 |
| 原文出处 | http://guest.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=YYJG200505000&dbname=CJFQ2005 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/17054]  |
| 专题 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈继民. 高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究[J],2012, 2012. |
| APA | 陈继民.(2012).高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究.. |
| MLA | 陈继民."高功率紫外激光切割铜薄膜的实验研究".(2012). |
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