| 环境扫描电镜中电荷环境的测量 | |
| 付景永 ; 吉元 ; 张隐奇 ; 王丽 ; 田彦宝 ; 徐学东 ; 韩晓东 | |
| 2012-04-13 ; 2012-04-13 | |
| 关键词 | 环境扫描电镜 电荷环境 样品电流 |
| 中文摘要 | 在环境扫描电镜(ESEM)中,采用高灵敏度的pA-表测试系统,测量法拉第杯,以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流(ISP)。ISP值反映出由电子流和离子流控制的ESEM样品室内的电荷环境。法拉第杯的ISP反映出入射电子和离子所控制的电荷环境;样品的ISP反映出入射电子、信号电子和离子所控制的电荷环境。由ISP值可确定ESEM在不同操作和环境条件下的离子化效率、离子化饱和程度,以及气体分子的散射作用。 |
| 原文出处 | http://guest.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=ZKKX200701015&dbname=CJFQ2007 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/16759]  |
| 专题 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付景永,吉元,张隐奇,等. 环境扫描电镜中电荷环境的测量[J],2012, 2012. |
| APA | 付景永.,吉元.,张隐奇.,王丽.,田彦宝.,...&韩晓东.(2012).环境扫描电镜中电荷环境的测量.. |
| MLA | 付景永,et al."环境扫描电镜中电荷环境的测量".(2012). |
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