| 采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境 | |
| 付景永 ; 张隐奇 ; 田彦宝 ; 徐学东 ; 韩晓东 ; 吉元 | |
| 2012-04-13 ; 2012-04-13 | |
| 关键词 | 法拉第杯 入射电子 样品室 电荷环 环境扫描电镜 气体分子 评价 电流表 非导体 离子流 |
| 中文摘要 | 基于多波长光束组合技术,利用光栅的衍射和外腔的反馈,将二极管阵列的发光单元锁定在不同的波长上,相邻单元的出射光波长有微小的差异。从外腔耦合镜输出近似平行的光束,其光束质量等同于单个发光单元的光束质量,而组合光束亮度随着组合光束个数定标放大。实验中采用发光单元宽度为100μm、填充因子为0.5、由49个单元构成的1 cm阵列获得功率为2.39 W的输出光束,其光谱宽度为27 nm,远场光斑的直径为0.08 mm,对应的远场发散角为1.2 mrad,其光束质量因子约为28,与单个发光单元的光束质量相当。 |
| 原文出处 | http://guest.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=DZXV2006S1078&dbname=CJFQ2006 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/16732]  |
| 专题 | 北京工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付景永,张隐奇,田彦宝,等. 采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境[J],2012, 2012. |
| APA | 付景永,张隐奇,田彦宝,徐学东,韩晓东,&吉元.(2012).采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境.. |
| MLA | 付景永,et al."采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境".(2012). |
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