氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究

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	氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究; The investigation of laser-induce damage threshold of HfO_2 films prepared with oxygen ion beam assisted deposition
	张大伟 ; 吕玮阁 ; 邵建达 ; 范正修
刊名	激光杂志
	2007
卷号	28 期号:3 页码:31
关键词	离子束辅助沉积氧化铪激光损伤阈值微弱吸收
ISSN号	0253-2743
其他题名	The investigation of laser-induce damage threshold of HfO_2 films prepared with oxygen ion beam assisted deposition
中文摘要	电子枪蒸发制备了氧化铪薄膜,对氧离子束辅助和未辅助两种情况下的样品进行了折射率、吸收、激光损伤阈值等属性的测试,结果表明,氧离子束辅助沉积的样品与未辅助沉积的样品相比具有高的折射率和高的吸收,以及稍低的激光损伤阈值.经过分析发现,薄膜的激光损伤阈值是影响薄膜抗激光特性的不利因素和有利因素竞争的结果,离子束辅助沉积技术在引入结构致密等有利因素的同时,也引入了吸收增加等不利因素.
学科主题	光学薄膜
分类号	O484.4
收录类别	0
语种	中文
公开日期	2009-09-22 ; 2010-10-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4584]
专题	上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	张大伟,吕玮阁,邵建达,等. 氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究, The investigation of laser-induce damage threshold of HfO_2 films prepared with oxygen ion beam assisted deposition[J]. 激光杂志,2007,28(3):31, 32.
APA	张大伟,吕玮阁,邵建达,&范正修.(2007).氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究.激光杂志,28(3),31.
MLA	张大伟,et al."氧离子束辅助沉积氧化铪薄膜的激光损伤阈值研究".激光杂志 28.3(2007):31.