| 拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试 | |
| 熊继军 ; 张文栋 ; 薛晨阳 ; 桑胜波 ; 周兆英 ; Xiong Jijun ; Zhang Wendong ; Xue Chenyang ; Sang Shengbo ; Zhou Zhaoying | |
| 2010-07-15 ; 2010-07-15 | |
| 会议名称 | 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二） ; 中国微米、纳米技术第七届学术会年会 ; 中国大连 ; CNKI ; 中国机械工程学会 |
| 关键词 | 微结构 应力 拉曼光谱 悬臂梁 质量块 micro-structure stress Raman spectroscopy micro- cantilever mass TH703 |
| 其他题名 | Applications of Raman Spectroscopy in Stress Performance Measurement of Micro-cantilever |
| 中文摘要 | 介绍了一种基于拉曼光谱频移来实现微结构应力测试的方法。利用该方法,实现了标准体硅腐蚀工艺形成的八梁支撑的微悬臂梁中应力分布的测试。测试结果表明EPW体硅腐蚀形成的梁—质量块系统中梁与质量块上存在40～160MPa的张应力,微梁上的残余张应力平均达到100MPa;对微结构上的不同位置,边缘的残余应力普遍要比中心位置的大一些。; A method based on Raman spectroscopy was introduced to measure the stresses in the micro-structure. By using this method, the measurement of the stress distribution on micro-cantilever was realized. The micro-cantilever was sustained by eight girders which were formed by standard bulk etching fabrication. The experimental results indicate that in the cantilever-mass system formed by EPW bulk etching, there exists a tensile stress of 40～160MPa in the cantilever and mass, averagely, the residual tensile stress in the micro-cantilever is larger, reaching 100MPa. There is also an obvious phenomenon: in different positions of the micro-structure, the tensile stress on the edge is generally larger than that of the center.; 国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404040) |
| 会议录出版者 | 中国机械工程杂志社 |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/70810]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊继军,张文栋,薛晨阳,等. 拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试[C]. 见:中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）, 中国微米、纳米技术第七届学术会年会, 中国大连, CNKI, 中国机械工程学会. |
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