LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质

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	LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质; Microstructure and optical properties of ZrO2 thin films on LiB3O5
	谭天亚 ; 张伟丽 ; 占美琼 ; 邵建达 ; 范正修
刊名	强激光与粒子束
	2005
卷号	17 期号:s1 页码:143
关键词	ZrO2 LBO晶体电子束蒸发择优取向
ISSN号	1001-4322
其他题名	Microstructure and optical properties of ZrO2 thin films on LiB3O5
中文摘要	用电子柬蒸发方法在三种不同取向的三硼酸锂（LiB3O3，简称LBO）晶体上沉积了ZrO2薄膜。采用分光光度计和X射线衍射技术对LBO晶体基底结构对薄膜光学性质和显微结构的影响进行了研究。实验结果表明：基底结构对薄膜的显微结构和光学性质具有明显影响，即X-LBO，Y-LBO和Z-LBO上沉积的ZrO3薄膜分别沿m（-212），m（021）和o（130）择优生长，且m（021）择优取向的ZrO3薄膜具有最高的折射率和最小的晶格不匹配。
学科主题	光学薄膜
分类号	O484.4
收录类别	0
语种	中文
公开日期	2009-09-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4470]
专题	上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	谭天亚,张伟丽,占美琼,等. LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质, Microstructure and optical properties of ZrO2 thin films on LiB3O5[J]. 强激光与粒子束,2005,17(s1):143, 146.
APA	谭天亚,张伟丽,占美琼,邵建达,&范正修.(2005).LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质.强激光与粒子束,17(s1),143.
MLA	谭天亚,et al."LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质".强激光与粒子束 17.s1(2005):143.