| 激光加热效应在硅显微Raman光谱测量中的影响 | |
| 伍晓明 ; 郁鉴源 ; 任天令 ; 刘理天 | |
| 2010-07-15 ; 2010-07-15 | |
| 会议名称 | 第十四届全国光散射学术会议论文摘要集 ; 第十四届全国光散射学术会议 ; 中国北京 ; CNKI ; 中国物理学会光散射专业委员会 |
| 关键词 | O472 |
| 中文摘要 | <正>显微 Raman 光谱技术能够用来测量微纳技术与器件硅材料的微区应力~([1])与温度分布~([2])。而应力的分析与控制对各种微纳器件与系统的加工一致性、性能稳定性与器件模型的准确性都有非常重要的影响；对微机电(MEMS)热驱动器的温度分布测量有利于热驱动器的深入分析与优化设计。但 |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/70122]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伍晓明,郁鉴源,任天令,等. 激光加热效应在硅显微Raman光谱测量中的影响[C]. 见:第十四届全国光散射学术会议论文摘要集, 第十四届全国光散射学术会议, 中国北京, CNKI, 中国物理学会光散射专业委员会. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论