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	声表面波力敏传感器基片材料最佳切向的研究
	程卫东 ; 鄂明成 ; 董永贵 ; Cheng Weidong ; E Mingcheng ; Dong Yonggui
	2010-07-15 ; 2010-07-15
会议名称	2008中国仪器仪表与测控技术进展大会 ; CNKI
关键词	声表面波传感器 波动方程 最佳切向 Surface acoustic wave sensor Wave equation Best cut TP212
其他题名	Research on Best Cut of Surface Acoustic Wave Force Sensor Substrates
中文摘要	声表面波传感器基片的压电晶体材料具有各向异性,切向不同性能差别很大。本文建立初始应力下的具有各向异性压电材料的波动方程。通过方程求解声表面波的传播速度,给出材料基片性能指标的计算方法,进行压电材料钽酸锂的各项性能指标的数值计算。根据计算结果确定延迟线型SAW力敏传感器的基片材料最佳切向。; Surface acoustic wave force sensor chip is made by the piezoelectricity crystals possessed anisotropy property. Because the cut is different, sensor performance difference is big. This paper has established the wave equation of piezoelectricity material disturbed by initial stress. Through extracting equation, wave propagation velocity is obtained. The computational methods of the parameters used to evaluate the sensor substrates are given. From these, the values of the parameters for all cuts of LiTaO3 substrates are calculated. Through analysis and comparison, some cuts with better feature are selected for delay line SAW force sensor.
会议录出版者	《仪器仪表学报》杂志社
语种	中文 ; 中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/67901]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	程卫东,鄂明成,董永贵,等. 声表面波力敏传感器基片材料最佳切向的研究[C]. 见:2008中国仪器仪表与测控技术进展大会, CNKI.

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