QQ客服 官方微博 反馈留言

	精密工作台扰动观测器设计及实现
	杨开明 ; 朱煜 ; 叶佩青 ; Yang Kaiming ; Zhu Yu ; Ye Peiqing
	2010-07-15 ; 2010-07-15
会议名称	第二十四届中国控制会议论文集（下册） ; Proceeding of the 24rd Chinese Control Conference ; 第二十四届中国控制会议 ; The 24rd Chinese Control Conference ; 中国广州 ; CNKI ; 中国自动化学会控制理论专业委员会
关键词	直线电机 精密工作台 扰动观测器 运动控制 linear motor, precision stage, disturbance observer, motion control TM359.4
其他题名	Design of Disturbance Observer for Precision Stage
中文摘要	针对直线电机驱动、气浮导轨支承的精密工作台没有机械阻尼、抗扰动性能差的特点,为了在较短的位置伺服周期内(110us)抑制工作台上的线缆扰动以及直线电机推力波动的影响,提高工作台的轨迹跟踪精度,采用了基于精密工作台名义模型的方法设计扰动观测器,构成PD+扰动观测器的运动控制结构。通过实验,与没有扰动观测器的PD控制相比较,工作台静态定位精度提高了0.5μm,以120mm/s匀速运动时工作台的轨迹跟踪精度提高了3μm。结果表明,该控制方法计算量小,抑制外部扰动效果好,有利于工作台综合性能的提高。; The precision stage droved by linear-motor and sustained by air-bearing shows the characteristic of zero mechanical damping and weak anti-disturbance. In order to neutralize disturbance introduced by cable on the stage and by the thrust fluctuation of the linear-motor within the short duration of the servo cycle(110us), to enhance the tracking accuracy of the stage, a disturbance observer based on the precision nominal model is proposed, result in the motion control architecture based on PD plus disturbance observer. In the check experiments, compared to the PD control without disturbance observer, the static positioning accuracy of the stage is improved 0.5μm, while the tracking accuracy is improved 3μm at the uniform speed of 120mm/s. The results show that the proposed algorithm can control the external disturbance effectively and is rather simple; it can be used to enhance the comprehensive performance of the stage.
会议录出版者	华南理工大学出版社
语种	中文 ; 中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/67835]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杨开明,朱煜,叶佩青,等. 精密工作台扰动观测器设计及实现[C]. 见:第二十四届中国控制会议论文集（下册）, Proceeding of the 24rd Chinese Control Conference, 第二十四届中国控制会议, The 24rd Chinese Control Conference, 中国广州, CNKI, 中国自动化学会控制理论专业委员会.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。