Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究

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	Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究
	范平 ; 邵建达 ; 易葵 ; 齐红基 ; 范正修
刊名	光子学报
	2006
卷号	35 期号:10 页码:1542
关键词	薄膜物理学光学特性尺寸效应 Cu膜最小连续膜厚
ISSN号	1004-4213
中文摘要	采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜，利用Lambda-900分光光度计，测量了波长为310nm到1300nm范围内Cu膜的反射率和透射率．选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚变化的关系进行研究．同时，对Cu膜的光学常量也进行了讨论．结果显示，Cu膜的光学特性都有明显的尺寸效应．将波长为550nm时的反射率和透射率随Cu膜厚度变化关系的交点对应厚度作为特征厚度，该厚度可认为是金属Cu膜生长从不连续膜进入连续膜的
学科主题	光学薄膜
分类号	O484.4
收录类别	ei
语种	中文
公开日期	2009-09-22 ; 2010-10-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4410]
专题	上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	范平,邵建达,易葵,等. Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究[J]. 光子学报,2006,35(10):1542, 1546.
APA	范平,邵建达,易葵,齐红基,&范正修.(2006).Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究.光子学报,35(10),1542.
MLA	范平,et al."Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究".光子学报 35.10(2006):1542.