| 微梁与基底的毛细粘附作用 | |
| 李喜德 ; 彭云 | |
| 2010-07-15 ; 2010-07-15 | |
| 会议名称 | 北京力学学会第12届学术年会论文摘要集 ; 北京力学学会第12届学术年会 ; 中国北京 ; CNKI ; 北京交通大学工程力学研究所 |
| 关键词 | 毛细粘附 MEMS器件 微尺度实验 变形 O363.2 |
| 中文摘要 | 在表面微型机械结构的制造过程中,强的毛细相互作用常常使得组成这些结构的微桥、微梁与基底粘附而导致失效。本文应用微悬臂梁试件,讨论微梁与基底间的毛细粘附作用,并通过能量原理计算其粘附力的大小和试件几何尺寸、粘附面距离和位置、粘附液体特性之间的关系。最后应用微散斑干涉,检测粘附平衡态时微梁的与基底之间的粘附力以及由毛细粘附所导致的弯曲变形,并与理论计算结果进行比较。结果表明实验值和理论值是一致的。 |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/67213]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李喜德,彭云. 微梁与基底的毛细粘附作用[C]. 见:北京力学学会第12届学术年会论文摘要集, 北京力学学会第12届学术年会, 中国北京, CNKI, 北京交通大学工程力学研究所. |
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