| 薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究 | |
| 魏成 ; 李喜德 ; 黄静波 ; 施惠基 | |
| 2010-07-15 ; 2010-07-15 | |
| 会议名称 | 北京力学会第11届学术年会论文摘要集 ; 北京力学会第11届学术年会 ; 中国北京 ; CNKI ; 北京力学会 |
| 关键词 | 薄膜 微区域变形 微压痕 标记法 微缺陷 O484 |
| 中文摘要 | 本文应用阵列微压痕标记技术完成了薄膜表面微孔洞缺陷邻域变形检测。检测中通过应用纳米压痕和微区域放电技术,制作微标记阵列和微孔洞缺陷,并在数字化显微系统下完成微区域点阵变形检测,进而实现微区域小变形测量。论文还研究了微标记点的信息提取与表征方法,讨论了微标记法在薄膜材料性能检测中的可行性及其检测性能。; 研究获国家自然科学基金项目10372049,10072031,10232030; 国家重点基础研究专项经费(2004CB619304) |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/67141]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏成,李喜德,黄静波,等. 薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究[C]. 见:北京力学会第11届学术年会论文摘要集, 北京力学会第11届学术年会, 中国北京, CNKI, 北京力学会. |
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