| 薄膜热应力在线测量与分析 | |
| 冯雪 ; 董雪林 | |
| 2010-07-15 ; 2010-07-15 | |
| 会议名称 | 第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集 ; 第十二届全国实验力学学术会议 ; The 12~(th) Experimental Mechanics Science Conference of China(2009 CSEM) ; 中国内蒙古呼和浩特 ; CNKI ; 中国力学学会实验力学专业委员会 |
| 关键词 | TB383.2 |
| 中文摘要 | 薄膜材料与结构广泛应用于微电子、信息、航空航天等领域,在其制造和使用过程中,由于材料差异、镀膜条件、环境温度改变等情况产生的失配应变或温度载荷,薄膜材料中产生很大的应力,这些应力的产生导致薄膜发生破坏,同时也会极大地影响材料的电、磁、光、热等物理性能。 |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/67077]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯雪,董雪林. 薄膜热应力在线测量与分析[C]. 见:第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集, 第十二届全国实验力学学术会议, The 12~(th) Experimental Mechanics Science Conference of China(2009 CSEM), 中国内蒙古呼和浩特, CNKI, 中国力学学会实验力学专业委员会. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论