| 探针测量中压电载物台竖向位移的精细标定研究 | |
| 苏东川 ; 李喜德 | |
| 2010-07-15 ; 2010-07-15 | |
| 会议名称 | 第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集 ; 第十二届全国实验力学学术会议 ; The 12~(th) Experimental Mechanics Science Conference of China(2009 CSEM) ; 中国内蒙古呼和浩特 ; CNKI ; 中国力学学会实验力学专业委员会 |
| 关键词 | 原子力显微镜 探针标定 微纳米力学性能 时间序列散斑干涉 TH742 |
| 中文摘要 | 原子力显微探针具有很高的空间分辨率,使其逐渐成为实验力学在微纳米尺度检测的重要工具之一。目前,原子力显微探针已广泛应用于微纳米尺度下材料性能、表面相互作用以及传感等研究领域。本文利用平均时间序列散班干涉技术,对应用于探针测量中压电载物台的竖向位移进行了精细测量,给出了从几十微米、微米、数百纳米、几十纳米到数纳米的多层级位移标定曲线。研究中提出的平均和拟合时间序列散班干涉方法,可以在同一序列散班场中,解调不同层级位移场,从而为探针测量中精确的试件定位提供精明控制。文中给出了详细的标定原理和结果,同时将标定好的载物台和自行研制的单探针原子力显微平台相结合,给出了载物台位移控制和原子力显微镜的微悬臂变形与输出信号之间的关系。 |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/67069]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苏东川,李喜德. 探针测量中压电载物台竖向位移的精细标定研究[C]. 见:第十二届全国实验力学学术会议论文摘要集, 第十二届全国实验力学学术会议, The 12~(th) Experimental Mechanics Science Conference of China(2009 CSEM), 中国内蒙古呼和浩特, CNKI, 中国力学学会实验力学专业委员会. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论