离子束清洗在激光薄膜中的应用

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	离子束清洗在激光薄膜中的应用; The application of ion beam cleaning on the laser films
	张大伟 ; 张东平 ; 邵建达 ; 王英剑 ; 范正修 ; 范瑞瑛
刊名	光学技术
	2005
卷号	31 期号:2 页码:238
关键词	激光薄膜离子柬清洗离子源损伤阈值
ISSN号	1002-1582
其他题名	The application of ion beam cleaning on the laser films
中文摘要	介绍了在激光薄膜中End—Hall型离子源离子柬清洗的应用。通过实验验证了基片的二次污染和离子柬的清洗效果，观测了离子柬清洗前后基片的表面形貌变化。研究了用离子柬清洗基片时对薄膜抗激光损伤阈值的作用。分析了用离子束清洗基片时其基片表面的性质，如清洁度、表面能、接触角、表面形貌的变化机理。指出了杂质微粒的去除和附着力的增加是如何使薄膜抗激光损伤阈值显著提高的。
学科主题	光学薄膜
分类号	O484.41;TN249
收录类别	ei
语种	中文
公开日期	2009-09-22 ; 2010-10-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4390]
专题	上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	张大伟,张东平,邵建达,等. 离子束清洗在激光薄膜中的应用, The application of ion beam cleaning on the laser films[J]. 光学技术,2005,31(2):238, 240.
APA	张大伟,张东平,邵建达,王英剑,范正修,&范瑞瑛.(2005).离子束清洗在激光薄膜中的应用.光学技术,31(2),238.
MLA	张大伟,et al."离子束清洗在激光薄膜中的应用".光学技术 31.2(2005):238.