单晶硅材料的1064nmNd：YAG脉冲激光损伤特性研究

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	单晶硅材料的1064nmNd：YAG脉冲激光损伤特性研究; Laser Damage Process in single-Crystalline Silicon with Different 1064nm Nd: YAG Laser Modes
	高卫东 ; 田光磊 ; 范正修 ; 邵建达
刊名	材料科学与工程学报
	2005
卷号	23 期号:3 页码:317
关键词	激光损伤单晶硅单脉冲激光自由振荡激光
ISSN号	1004-793X
其他题名	Laser Damage Process in single-Crystalline Silicon with Different 1064nm Nd: YAG Laser Modes
中文摘要	作为微电子和光电子系统中普遍使用的一种结构材料，单晶硅一直是人们研究的焦点。长期以来，人们对其电学性质进行了非常深入细致的研究，却疏于对其抗击强激光辐照特性的研究。随着激光通讯和光电对抗技术的发展，对光学材料的激光破坏特性和加固技术进行研究的需求也显得越来越迫切。本文主要对单晶硅的抗激光损伤特性进行研究，研究了单晶硅材料在1064nmNd：YAG激光自由脉冲输出模式和单脉冲输出模式作用下的损伤特性，通过对两种激光作用下单晶硅损伤形貌的分析，在热效应与热力耦合模型的基础上，对单晶硅的激光损伤机制进行了探索。
学科主题	光学薄膜
分类号	TN304.1;O484.5
收录类别	0
语种	中文
公开日期	2009-09-22 ; 2010-10-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4376]
专题	上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	高卫东,田光磊,范正修,等. 单晶硅材料的1064nmNd：YAG脉冲激光损伤特性研究, Laser Damage Process in single-Crystalline Silicon with Different 1064nm Nd: YAG Laser Modes[J]. 材料科学与工程学报,2005,23(3):317, 320.
APA	高卫东,田光磊,范正修,&邵建达.(2005).单晶硅材料的1064nmNd：YAG脉冲激光损伤特性研究.材料科学与工程学报,23(3),317.
MLA	高卫东,et al."单晶硅材料的1064nmNd：YAG脉冲激光损伤特性研究".材料科学与工程学报 23.3(2005):317.