QQ客服 官方微博 反馈留言

	电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量
	陈卓 ; 何威 ; 蒲以康 ; Chen Zhuo ; He Wei ; Pu Yi-Kang
	2010-06-10 ; 2010-06-10
关键词	光谱法 亚稳态粒子数密度 电子温度 ECR等离子体源 optical emission spectroscopy, metastable state densities, electron temperature, ECR plasma O562.3
其他题名	Measurement of metastable state Densities and electron temperatures in an electron cyclotron resonance argon plasma
中文摘要	测量了电子回旋共振 (ECR)氩等离子体中Ar的 1s5亚稳态粒子数密度 ,在气压为 0 2— 0 8Pa、功率为 5 0 0—70 0W的范围内 ,利用吸收光谱法测量了Ar原子 811 5nm谱线的吸收强度 ,得到 1s5亚稳态粒子数密度为 1× 10 1 5—4× 10 1 5m- 3.本文综合考虑基态和 1s5亚稳态粒子的激发对Ar发射谱线强度的贡献后 ,用两条发射谱线强度之比得到电子温度 .结果表明 ,计入了 1s5亚稳态激发的贡献后 ,所得到的电子温度与只考虑基态的贡献得到的电子温度相比存在较大的差别 .; The number of metastable state densities obtained ranges from 1×10 15 to 4×10 15 m -3 in the electron cyclotron resonance (ECR) argon plasma by measuring the optical absorption of the 811.5 nm spectral line under the conditions of 0.2—0.8 Pa and 500—800 W. Taking into account the contribution of both the ground state and the 1s 5 metastable state to the emissions, the electron temperature T e is measured by the ratio of emission lines. Results show that there are obvious differences compared with only considering the metastable state densities.; 国家自然科学基金重点项目 (批准号 :10 3 3 5 0 40 )资助的课题 .~~
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/63483]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	陈卓,何威,蒲以康,等. 电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量[J],2010, 2010.
APA	陈卓,何威,蒲以康,Chen Zhuo,He Wei,&Pu Yi-Kang.(2010).电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量..
MLA	陈卓,et al."电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量".(2010).

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。