飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计

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	飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计
	孔伟金 ; 刘世杰 ; 沈健 ; 沈自才 ; 邵建达 ; 范正修
刊名	物理学报
	2006
卷号	55 期号:3 页码:1143
关键词	飞秒激光脉宽压缩光栅多层介质膜 femtosecond laser pulse compress gratings multi-layer dielectric thin film
ISSN号	1000-3290
其他题名	Design of multi-layer dielectric grating for femtosecond laser
中文摘要	以薄膜光学的干涉理论和衍射光学的傅里叶模式理论为基础，给出了0．8μm飞秒激光器用多层介质膜脉宽压缩光栅的理论设计；设计采用H3L（HL）^9H0．5L2．4H的多层介质膜为基底，当刻蚀后表面浮雕结构的占宽比为0．35，线密度为1480线／mm，槽深为0．2μm，顶层HfO2的剩余厚度为0．15μm时，对于Littrow角度（36．7°）和TE波模式入射的衍射光栅其-1级衍射效率达到95％以上．; Based on optical interference theory and Fourier modal theory, a new multi-layer dielectric gratings is designed for use in femtosecond laser system at wavelength 0.8 mu m. A multi-layer dielectric with stack of H3L(HL)<^>9H0.5L2.4H is used as a substrate to be etched with corrugated structure. Numerical computation indicates that the diffraction efficiency of - I order can be more than 95% when the parameters of multi-layer dielectric grating are the following: laser is incident on-the grating at 36.7 degrees in TE mode, the duty cycle is 0.35 and the line density is 1480/mm, the groove depth is 0.2 mu m and the top residual HfO2 is 0.15 mu m.
学科主题	光学薄膜
分类号	O436.1;TN929.11
收录类别	ei
语种	中文
公开日期	2009-09-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4306]
专题	上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	孔伟金,刘世杰,沈健,等. 飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计[J]. 物理学报,2006,55(3):1143, 1147.
APA	孔伟金,刘世杰,沈健,沈自才,邵建达,&范正修.(2006).飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计.物理学报,55(3),1143.
MLA	孔伟金,et al."飞秒激光用多层介质膜脉宽压缩光栅的设计".物理学报 55.3(2006):1143.