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	面向RFIC的片上铁氧体磁膜电感
	杨晨 ; 刘锋 ; 任天令 ; 刘理天 ; YANG Chen ; LIU Feng ; REN Tian-ling ; LIU Li-tian
	2010-06-09 ; 2010-06-09
关键词	铁氧体薄膜 电感 射频集成电路 Ferrite thin-film Inductor RF IC TM55 TM277
其他题名	On-Chip Integrated Inductors with Ferrite Thin-Films for RF IC
中文摘要	采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜(Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4,Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9)射频微电感.铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作,高频特性较好,适于片上电感的应用.对电感样品进行了测试和等效电路分析,结果表明,与无磁膜结构相对比,铁氧体磁膜电感显著增强了电感性能,是一种实现小尺寸、高性能片上RFIC电感的很有前景的途径.; On-chip RF integrated inductors with kinds of ferrite thin-films (Ni_ 0.4 Zn_ 0.4 Cu_ 0.2 Fe_2O_4, Y_ 2.8 Bi_ 0.2 Fe_5O_ 12 and Co_7ZrO_9) have been fabricated using IC compatible processes. The ferrite thin-films prepared by spin-coated method show good magnetic performance for RF inductor applications. The high-frequency characteristics of inductor samples are tested, compared and analyzed using the equivalent circuit. The experiments demonstrate that, ferrite thin-film integration improves the inductor performance significantly, which is a promising way to achieve super compact high-performance on-chip inductors for RF IC.; 美国自然科学基金资助(0302449); 中国自然科学基金资助(90607021)
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/56758]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	杨晨,刘锋,任天令,等. 面向RFIC的片上铁氧体磁膜电感[J],2010, 2010.
APA	杨晨.,刘锋.,任天令.,刘理天.,YANG Chen.,...&LIU Li-tian.(2010).面向RFIC的片上铁氧体磁膜电感..
MLA	杨晨,et al."面向RFIC的片上铁氧体磁膜电感".(2010).

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