斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的理论探讨

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	斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的理论探讨
	沈自才 ; 邵建达 ; 王英剑 ; 范正修
刊名	物理学报
	2005
卷号	54 期号:7 页码:3069
关键词	渐变折射率薄膜理论探讨制备沉积法斜角填充密度倾斜入射光学特性线性变化理论表达式周期数半周期整周期膜料 glancing angle deposition graded packing density
ISSN号	1000-3290
其他题名	Theoretical study of graded-index coatings prepared by glancing angle deposition
中文摘要	从理论上分析了单一膜料倾斜入射沉积时的折射率与填充密度的关系，给出了三种不同的表达式；然后从正变和负变、完整周期和存在半周期以及不同的周期数等几个方面探讨了膜层的填充密度按照线性变化时的渐变折射率薄膜的光学特性，并将折射率的不同理论表达式对光学特性的影响进行了对比，最后讨论了单一膜料倾斜入射沉积渐变折射率薄膜的方法、填充密度线性变化时的渐变折射率薄膜的应用及制备中需要进一步解决和处理的问题．; Relationship between refractive index and packing density of coatings prepared by glancing angle deposition is analyzed and three expressions are given firstly. And then optical characteristics of the graded-index coating, which is deposited as the linear changing of packing density, are discussed from some aspects as positive or negative change, integral periods or have hale period, different periods etc, and more over, the influences of different refractive-index theories on the optical characteristics are compared. Finelly, the preparation method, applications and some problem in preparation of the graded coating are discussed separately.
学科主题	光学薄膜
分类号	O484.1;TN818
收录类别	ei
语种	中文
公开日期	2009-09-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/4170]
专题	上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心
推荐引用方式 GB/T 7714	沈自才,邵建达,王英剑,等. 斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的理论探讨[J]. 物理学报,2005,54(7):3069, 3074.
APA	沈自才,邵建达,王英剑,&范正修.(2005).斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的理论探讨.物理学报,54(7),3069.
MLA	沈自才,et al."斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的理论探讨".物理学报 54.7(2005):3069.