QQ客服 官方微博 反馈留言

	非蒸散型吸气剂在微型离子泵中的应用
	李城钰 ; 齐京 ; 陈旭 ; LI Cheng-yu ; QI Jing ; CHEN Xu
	2010-06-09 ; 2010-06-09
关键词	非蒸散型吸气剂 微型 离子泵 小型真空器件 NEG miniature ion pump small-sized vacuum device TB752
其他题名	Application of non-evaporation getter to ion minipump
中文摘要	为确保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和长寿命,开发了一种带非蒸散型吸气剂的微型复合离子泵(Mini-Combination Ion Pumps with NEG)。在新建的微型离子泵性能测试系统上,研究了非蒸散型吸气剂对器件存储和微型离子泵启动特性的影响。模拟了微型离子泵与小型真空器件集成为一体时可能遇到不同气体负载时的实际情况,讨论了新结果的可能应用。; A miniature combination ion pump with non-evaporable getter(NEG) was developed in order to ensure the extreme high reliability and long service life for the closed ultra-high vacuum devices of small size.The influences of the NEG on the storage of the devices and starting characteristics of the minipump were investigated on a newly developed performance testing system.The actual situation under different gas loads in case the minipump and small-sized vacuum devices are integrated together was simulated and discussed.
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/53611]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李城钰,齐京,陈旭,等. 非蒸散型吸气剂在微型离子泵中的应用[J],2010, 2010.
APA	李城钰,齐京,陈旭,LI Cheng-yu,QI Jing,&CHEN Xu.(2010).非蒸散型吸气剂在微型离子泵中的应用..
MLA	李城钰,et al."非蒸散型吸气剂在微型离子泵中的应用".(2010).

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。