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	一种新型体硅谐振加速度计(英文)
	贾玉斌 ; 郝一龙 ; 张嵘 ; Jia Yubin ; Hao Yilong ; Zhang Rong
	2010-06-08 ; 2010-06-08
关键词	MEMS加速度计 谐振激励和敏感 体硅工艺 频率漂移 MEMS accelerometer resonant driving and sensing bulk-silicon process frequency shift TH824.3
其他题名	Bulk-Silicon Resonant Accelerometer
中文摘要	设计了一种谐振加速度计 .这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳 .利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感 .利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计 ,测试的灵敏度为 2 7 3Hz/ g ,分辨率为 16 7 8μg .; Resonant accelerometer is designed,which includes two double-ended tuning forks,a proof mass,four-leverage system amplifying inertial force,and drive/sense combs.Each tuning fork is electrostatically actuated and sensed at resonance using comb electrodes.The device is fabricated using MEMS bulk-silicon technology,whose sensitive degree is 27 3Hz/g,and the resolution is 167 8μg.; 国家高技术研究发展计划资助项目 (批准号 :2 0 0 2AA43 0 0 2 0 )~~
语种	英语 ; 英语
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/49832]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	贾玉斌,郝一龙,张嵘,等. 一种新型体硅谐振加速度计(英文)[J],2010, 2010.
APA	贾玉斌,郝一龙,张嵘,Jia Yubin,Hao Yilong,&Zhang Rong.(2010).一种新型体硅谐振加速度计(英文)..
MLA	贾玉斌,et al."一种新型体硅谐振加速度计(英文)".(2010).

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