| 粘度对含纳米粒子溶液冲蚀单晶硅表面的磨损影响 | |
| 徐进 ; 雒建斌 ; Xu Jin ; Luo Jianbin | |
| 2010-06-08 ; 2010-06-08 | |
| 关键词 | 冲蚀磨损 纳米颗粒碰撞 单晶硅 表面损伤 erisove wear nanoparticle impact monocrystalline silicon surface damage TB383.1 |
| 其他题名 | Influences of the Viscosity of Slurry on Monocrystalline Silicon Surface Damage Caused by Nanoparticle Impact |
| 中文摘要 | 利用高分辨透射电子显微镜和原子力显微镜观察了含SiO2纳米颗粒溶液冲蚀硅片的表面损伤,考察了纳米颗粒碰撞单晶硅片所导致的微观物理损伤。结果表明,硅片经历一定时间冲蚀后,表面可见纳米尺度的凹坑和划痕,并发现一定厚度的非晶损伤层。抛光液粘度从1.2m Pa.s增加到16m Pa.s时,冲蚀后硅片表面损伤逐渐变得轻微,对应的表面凹坑最大深度从4nm减小到0.5nm,表面损伤层厚度从约12nm减小到4nm。; An experiment on cylindrical liquid jet containing de-ionized water and SiO_(2)(nanoparticles) impacting obliquely on a single crystal silicon surface at a speed of 50 m/s was(performed).The microstructure of the impacted silicon surface was examined through a high resolution transmission electron microscopy and an atomic force microscopy.Experimental results show that(craters) and scratches in the nano-scale can be found in the surface and an amorphous damage layer(occurs) after the impact.When the viscosity of slurry increases from 1.2 m(Pa穝) to 16 m(Pa穝),with the exposure time of 30 minutes,the maximum crater depth changes from 4 nm to 0.5nm and the damage layer becomes thinner.; 国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB716201); 国家自然科学基金资助重大项目(50390060) |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/123456789/49807]  |
| 专题 | 清华大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐进,雒建斌,Xu Jin,等. 粘度对含纳米粒子溶液冲蚀单晶硅表面的磨损影响[J],2010, 2010. |
| APA | 徐进,雒建斌,Xu Jin,&Luo Jianbin.(2010).粘度对含纳米粒子溶液冲蚀单晶硅表面的磨损影响.. |
| MLA | 徐进,et al."粘度对含纳米粒子溶液冲蚀单晶硅表面的磨损影响".(2010). |
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