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	一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计
	卢明臻 ; 高思田 ; 金其海 ; 崔建军 ; 杜华 ; 高宏堂 ; LU Ming-zhen ; GAO Si-tian ; JIN Qi-hai ; CUI Jian-jun ; DU Hua ; GAO Hong-tang
	2010-06-08 ; 2010-06-08
关键词	纳米计量 原子力显微镜 阿贝误差 光纤导入 nanometrology atomic force microscope(AFM) Abbe error optical fiber introduced compact TH742
其他题名	An atomic force microscope head designed for nanometrology
中文摘要	介绍了我们研制的一种高精度、具有计量学意义的原子力显微镜测头.该显微测头与其它部件协同工作在50 mm×50 mm×2 mm的测量范围内实现纳米级精度的测量.测头采用光束偏转法检测探针悬臂的微小偏移,由单模保偏光纤引入半导体激光作为光源.该测头安装有3个立体反射镜作为激光干涉仪的参考镜.样品与原子力显微镜测头的相对位置可以由激光干涉仪直接读数,可溯源到米国际定义及国家基准上.激光干涉仪的布置无阿贝误差.测头采用立体光路设计,结构紧凑.测头厚度小于20 mm,质量约200 g,却实现了100 mm的反射光程.使用该测头测得与量块表面的力-距离曲线,还测得标称高度300 nm SiO2台阶样板的图像,分辨率优于0.05 nm.; An atomic force microscope(AFM) head designed for nanometrology is described in this paper.It is a large-scale nanostructure metrological instrument with a working range of 50 mm� mm�mm.Optical beam deflection method is used to detect the bending of the cantilever.Light is introduced from an external laser diode with a singlemode polarization maintaining optical fiber.There are 3 reference mirrors of interferometers attached on it and arranged without Abbe error.Readout from interferometers could be traced to the definition of the SI Unit meter and the national standard.With a compact design,a 100 mm light lever is realized inside the AFM head that is less than 20 mm in thickness and 200 g in weight.A force-distance curve is obtained when measuring the surface of a guage block.Furthermore,online tests of measurement of a step scale have been taken.The resolution of our AFM head reaches 0.05 nm.; 国家“十五”重大科技专项基金资助项目(No.2002BR906A26)
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/49757]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	卢明臻,高思田,金其海,等. 一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计[J],2010, 2010.
APA	卢明臻.,高思田.,金其海.,崔建军.,杜华.,...&GAO Hong-tang.(2010).一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计..
MLA	卢明臻,et al."一种用于纳米计量的原子力显微镜测头的设计".(2010).

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