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	基于振动模型的精密工作台运动控制
	叶佩青 ; 杨开明 ; 尹文生 ; YE Peiqing ; YANG Kaiming ; YIN Wensheng
	2010-06-08 ; 2010-06-08
关键词	PID控制 直线电机 机械共振 精密工作台 极点配置 PID control linear motor mechanical resonance precision stage pole placement TM921.5
其他题名	Precision stage motion controller based on a vibration model
中文摘要	精密工作台高加减速的运动反力作用于机台上,会引起机台机械共振,使轨迹跟踪精度降低、定位建立时间加长,针对这一问题,提出了基于精密工作台振动模型,采用极点配置、模型参数匹配的方法设计P ID控制器。通过实验,与PD+加速度前馈的控制方式相比较,当工作台以120mm/s、1 g的加减速运动时工作台轨迹跟踪精度提高了2μm,定位建立时间缩短了10m s。结果表明,采用基于振动模型设计的P ID运动控制具有较好的动态响应和轨迹跟踪性能。; High acceleration movements of a precision stage result in reaction forces that lead to mechanical resonance in the stage,which reduces the tracking accuracy and lengthens the positioning time.A simple controller architecture was developed to reduce the mechanical resonance based on a vibration model of the stage with the pole assignment and the model parameter matching methods used to design a PID controller.Tests showed that the tracking accuracy of the controller was 2 μm better than a normal PID controller with acceleration feedforward control at a uniform speed of 200 mm/s and at an acceleration of 1 g,while the positioning time was reduced by 10 ms.The results show that the vibration model-based PID motion controller has much better dynamic response and tracking performance.; 国家“八六三”高技术项目(2001AA423260)
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/49547]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	叶佩青,杨开明,尹文生,等. 基于振动模型的精密工作台运动控制[J],2010, 2010.
APA	叶佩青,杨开明,尹文生,YE Peiqing,YANG Kaiming,&YIN Wensheng.(2010).基于振动模型的精密工作台运动控制..
MLA	叶佩青,et al."基于振动模型的精密工作台运动控制".(2010).

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