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	超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究
	廖小华 ; 葛杨翔 ; 李玉和 ; 李庆祥 ; Liao Xiaohua ; Ge Yangxiang ; Li Yuhe ; Li Qingxiang
	2010-06-08 ; 2010-06-08
关键词	划痕 纳米尺度 轻敲模式 外差干涉 原子力显微镜 Scratch Nano-scale Tapping mode Heterodyne interferometry AFM TP274.4
其他题名	Scratch Test System at Nano-scale for Superfinish Surface
中文摘要	电子产品高集成度与高性能化的发展,对超精表面和亚表面无损伤性要求越来越高。为了检测纳米尺度的表面微划痕,基于原子力显微镜思想,选用硅微探针工作在轻敲模式,通过外差干涉测量振幅变化,z向反馈实现微划痕成像,构建了一套微划痕检测实验系统。初步实验表明:检测系统达到了纳米级精度,满足了划痕检测性能要求。; In order to test scratch at nano-scale,a new test system basing the idea of AFM is presented. Silicon probe is used to work in tapping mode, and the heterodyne interferometry is applied to get the variety of amplitude. The feedback of Z axis motion is the image of scratch. Experiment on grating shows that the system meets the precision of nanometer and the need of nano-scratch testing.; 国家重点基础研究发展计划(973计划)(2003CB716201)资助项目子课题
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/49513]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	廖小华,葛杨翔,李玉和,等. 超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究[J],2010, 2010.
APA	廖小华.,葛杨翔.,李玉和.,李庆祥.,Liao Xiaohua.,...&Li Qingxiang.(2010).超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究..
MLA	廖小华,et al."超精表面纳米尺度划痕检测系统的研究".(2010).

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