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	多晶硅微型电极阵列的研制
	吴英 ; 江永清 ; 温志渝 ; 张正元 ; WU Ying ; JIANG Yong-qing ; WEN Zhi-yu ; ZHANG Zheng-yuan
	2010-06-08 ; 2010-06-08
关键词	ME MS 微型电极阵列 多晶硅 micro electro-mechanical system micro-electrode array poly-silicon. TN103
其他题名	Development of Polycrystalline Silicon Micro-electrode Array on Silicon Substrate
中文摘要	讨论了pn结对制作硅微电极阵列的局限性,提出了一种在沟道侧壁制作多晶硅电极阵列的设计和制作方法。实验结果表明,利用该方法研制的微电极阵列不仅克服了pn结的影响,能够为MEMS芯片器件提供所需的工作电压,而且也为一些小型化电极的设计及研制提供了新的思路和方法。; The limitation of pn junction in the fabrication of silicon micro-electrode is discussed.A simple method to develop polycrystalline silicon micro-electrode array at the both sides of the channel is proposed.By this way,the influence of pn junction is reduced.The electrode array that can provide separation electrical field for some separation techniques as capillary electrophoresis is presented,which give a new idea to the integration design of the miniature chip.; 重庆市自然科学基金资助项目
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/49361]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	吴英,江永清,温志渝,等. 多晶硅微型电极阵列的研制[J],2010, 2010.
APA	吴英.,江永清.,温志渝.,张正元.,WU Ying.,...&ZHANG Zheng-yuan.(2010).多晶硅微型电极阵列的研制..
MLA	吴英,et al."多晶硅微型电极阵列的研制".(2010).

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