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	深亚微米飞高测量的光电检测系统设计
	王亮 ; 李玉和 ; 李庆祥 ; 陈张玮 ; WANG Liang ; LI Yu-he ; LI Qing-xiang ; CHEN Zhang-wei
	2010-06-08 ; 2010-06-08
关键词	高测量 近场光存储 光电检测 微弱信号 flying height measuring near-field light storage optoelectronic detection feeble signal TP274.4
其他题名	Design of Optoelectronic Detection System for Deep Sub-micron Flying Height Measuring
中文摘要	基于光电传感原理,设计了用于深亚微米飞高测量的光电检测系统,采用前置放大和后级放大电路结合,设计高速高精度数据采集系统,介绍了系统控制交互界面。性能测试结果表明,该光电检测系统线性度、分辨率和动态频率均满足飞高动态测试的要求。; Based on the optoelectronic sense principle,a set of optoelectronic detection system for deep sub-micron flying height measuring is designed,which focuses on the preamplifier and post amplifier.It is a high-speed and high-precision data acquisition system,and the system control interactive interface is introduced.Analysis and experiment show that this system has proper parameters on linearity of optoelectronic detection system,measuring resolution and dynamic frequency,and can realize dynamic measuring for the deep sub-micron flying height.; 高等学校博士点专项科研基金资助项目(编号20020003015)
语种	中文 ; 中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://hdl.handle.net/123456789/49116]
专题	清华大学
推荐引用方式 GB/T 7714	王亮,李玉和,李庆祥,等. 深亚微米飞高测量的光电检测系统设计[J],2010, 2010.
APA	王亮.,李玉和.,李庆祥.,陈张玮.,WANG Liang.,...&CHEN Zhang-wei.(2010).深亚微米飞高测量的光电检测系统设计..
MLA	王亮,et al."深亚微米飞高测量的光电检测系统设计".(2010).

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