气相传输平衡技术制备LiGaO2薄膜

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	气相传输平衡技术制备LiGaO2薄膜
	张俊刚 ; 夏长泰 ; 吴锋 ; 裴广庆 ; 李抒智 ; 徐军 ; 周圣明 ; 邓群 ; 徐悟生 ; 史宏声
刊名	光学学报
	2006
卷号	26 期号:9 页码:1424
关键词	薄膜光学复合衬底 GaN外延膜气相传输平衡技术 β-Ga2O3单晶 LiGaO2薄膜色心
ISSN号	0253-2239
其他题名	LiGaO₂ layers fabricated by vapor transport equilibration
中文摘要	为获得与GaN薄膜晶格失配小的衬底材料，报道了利用气相传输平衡技术（VTE）在（100）β-Ga2O3单晶衬底上制备高度[001]取向LiGaO2薄膜的方法。经过X射线衍射分析表明得到的薄膜是由单相LiGaO2组成。利用扫描电镜（SEM）观察表面形貌，发现经气相传输平衡技术处理得到的薄膜表面形貌主要受温度的影响，表面晶粒尺寸随温度上升而增大。而X射线衍射测试表明随着温度上升，所得到的薄膜也从多晶向单晶化转变。在经过退火处理后，通过观察吸收谱发现LiGaO2薄膜中产生色心，并且色心的种类与温度有关。表明可以
学科主题	光学材料;晶体
分类号	O484
收录类别	ei
语种	中文
公开日期	2009-09-24
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/5665]
专题	上海光学精密机械研究所_激光与光电子功能材料研发中心
推荐引用方式 GB/T 7714	张俊刚,夏长泰,吴锋,等. 气相传输平衡技术制备LiGaO2薄膜[J]. 光学学报,2006,26(9):1424, 1428.
APA	张俊刚.,夏长泰.,吴锋.,裴广庆.,李抒智.,...&史宏声.(2006).气相传输平衡技术制备LiGaO2薄膜.光学学报,26(9),1424.
MLA	张俊刚,et al."气相传输平衡技术制备LiGaO2薄膜".光学学报 26.9(2006):1424.