埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用 | |
朱鹤年 ; 张培林 | |
刊名 | http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JJZZ1983Z1219&dbname=CJFQ1983 |
2012-04-22 ; 2012-04-22 | |
关键词 | 分辨率 微位移测量 激光测量系统 偏振光干涉仪 改变量 微致动器 低膨胀系数 测微仪 测量光束 频率分量 |
中文摘要 | <正> 微位移测量可应用于微定位、测微仪校准、微致动器标定、低膨胀系数测量、微形变检测等许多技术领域。我们研制的具有一埃分辨率的激光测量系统,用频差波动小的稳定的He-Ne纵向塞曼(双频)激光器作光源,光学装置采用经过精确调整的迈克尔逊型双频偏振光干涉仪的光路,测出测量光和参考光的拍频信号间相位差的改变量,就可得知可动反射器的位移。理想情况下与光程差改变量成正比,且测量光束两正交偏振方向各有一个频率分量, |
语种 | 中文 |
其他责任者 | 清华大学物理系 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.calis.edu.cn/hdl/211310/1758] |
专题 | 清华大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱鹤年,张培林. 埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用[J]. http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JJZZ1983Z1219&dbname=CJFQ1983,2012, 2012. |
APA | 朱鹤年,&张培林.(2012).埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用.http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JJZZ1983Z1219&dbname=CJFQ1983. |
MLA | 朱鹤年,et al."埃分辨率的激光系统及其在材料电致形变测量中的应用".http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JJZZ1983Z1219&dbname=CJFQ1983 (2012). |
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