悬臂梁室温瓦斯传感器 | |
马洪宇 ; 丁恩杰 ; 张卫东 | |
2015-09-06 ; 2015-09-06 | |
中文摘要 | 一种悬臂梁室温瓦斯传感器,在硅衬底上设有由N阱、二氧化硅层、钝化层、瓦斯敏感层构成的微悬臂梁,硅衬底上表面内侧设有N阱,N阱上表面内侧设有N+电阻和P+电阻,P+电阻构成惠斯通电桥的桥臂电阻,设有二氧化硅层覆盖硅衬底和N阱,二氧化硅层上设有穿过二氧化硅层分别与P+电阻和N+电阻接触的金属层,设有覆盖金属层和二氧化硅层的钝化层,微悬臂梁的钝化层上设有瓦斯敏感层,微悬臂梁之外的二氧化硅层上设有多个露出的电极引线;敏感层吸附或解吸附甲烷导致悬臂梁根部应力改变,采用惠斯通电桥测量应力的变化实现瓦斯浓度的检测。该传感器具有性能稳定、寿命长、功耗低,体积小、分辨率高等优点并有温度补偿功能。; 专利类型: 发明专利 申请(专利)号: CN201110077346.8 申请日期: 2011年3月30日 公开(公告)日: 2011年10月26日 公开(公告)号: CN102226776A 主分类号: G01N27/04,G01N27/00,G,G01,G01N,G01N27 分类号: G01N27/04,G01N27/00,G,G01,G01N,G01N27 申请(专利权)人: 中国矿业大学 发明(设计)人: 马洪宇,丁恩杰,张卫东 主申请人地址: 221116 江苏省徐州市三环南路中国矿业大学科技处 专利代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 唐惠芬 国别省市代码: 江苏;32 主权项: 一种悬臂梁室温瓦斯传感器,其特征在于:该传感器以硅衬底(101)为基底,在硅衬底(101)上设有由N阱(102)、二氧化硅层(104)、钝化层(105)、瓦斯敏感层(106)构成瓦斯敏感的微悬臂梁(108),其中:在硅衬底(101)上表面内侧设有N阱(102),N阱(102)上表面内侧设有P+电阻(103)和N+电阻(107),设有覆盖硅衬底(101)和N阱(102)的二氧化硅层(104),二氧化硅层(104)上设有穿过二氧化硅层(104)分别与P+电阻(103)和N+电阻(107)相接触的金属层(110),金属层(110)和二氧化硅层(104)上覆盖有钝化层(105),微悬臂梁(108)的钝化层(105)上设有瓦斯敏感层(106),微悬臂梁(108)之外的二氧化硅层(104)上设有多个露出的电极引线(109);所述的P+电阻(103)包括作为惠斯通电桥第一桥臂电阻(1031)的第一电阻(R1)与第三电阻(R3)和第二桥臂电阻(1032)的第二电阻(R2)与第四电阻(R4),第一桥臂电阻(1031)位于悬臂梁(108)内。 法律状态: 公开 ,实质审查的生效 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 其他 |
源URL | [http://ir.calis.edu.cn/hdl/232060/11748] ![]() |
专题 | 中国矿业大学(徐州) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 马洪宇,丁恩杰,张卫东. 悬臂梁室温瓦斯传感器. 2015-09-06, 2015-09-06. |
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