化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展

	化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展
	田会娟; 郝斌; 徐俊波; 田亚峻; 温浩
刊名	材料导报
	2016
期号	1 页码:"33-40"
关键词	纳微结构氧化锌化学气相沉积局部气氛数值模拟
中文摘要	纳/微氧化锌材料性能优良,用途广泛,制备方法较多,其中化学气相沉积法(CVD)是较常用的方法之一。详细介绍了CVD方法制备纳米氧化锌的主要影响因素,概述了计算流体动力学(CFD)模拟在化学气相沉积法方面的应用和研究现状,并指出应该采用实验研究和计算模拟相结合的方法进行研究,利用计算模拟指导实验,从而实现纳微结构的可控生长。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/22242]
专题	过程工程研究所_研究所（批量导入）
推荐引用方式 GB/T 7714	田会娟,郝斌,徐俊波,等. 化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展[J]. 材料导报,2016(1):"33-40".
APA	田会娟,郝斌,徐俊波,田亚峻,&温浩.(2016).化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展.材料导报(1),"33-40".
MLA	田会娟,et al."化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展".材料导报 .1(2016):"33-40".